表面处理技术

表面处理(surface treatment): 常见的无电解镍、原色阳极、黑色阳极、彩色阳极、硬阳处理、镀硬铬、钝化、铬酸盐皮膜、光学镀膜、喷砂、研磨、钻石镀膜等客户指定的特殊表面处理技术。

表面处理及化学清洗 Surface Treatment& Chemical Cleaning

自主发明专利 UHV 超高洁净自动化清洗线，满足12吋7纳米晶圆制程包括沉积、刻蚀等关键制程设备真空部件（如各反应腔体）的清洗：

• 环三硅氧烷、六甲基、烷基酚、酮类等各类有机物含量均控制在 1ng/cm2 之下，低于行业 1.5-3ng/cm2 的区间水平

• 蚀刻机反应腔室排气通量达到<0.1μg/cm2

• 零件清洗后经万级车间热烘干然后直接进入千级洁净室进行包装，有效避免产品二次污染

• 针对UHV要求零件，配备百级洁净室清洗包装