表面处理(surface treatment): 常见的无电解镍、原色阳极、黑色阳极、彩色阳极、硬阳处理、镀硬铬、钝化、铬酸盐皮膜、光学镀膜、喷砂、研磨、钻石镀膜等客户指定的特殊表面处理技术。
表面处理及化学清洗 Surface Treatment& Chemical Cleaning
自主发明专利 UHV 超高洁净自动化清洗线,满足12吋7纳米晶圆制程包括沉积、刻蚀等关键制程设备真空部件(如各反应腔体)的清洗:
环三硅氧烷、六甲基、烷基酚、酮类等各类有机物含量均控制在 1ng/cm2 之下,低于行业 1.5-3ng/cm2 的区间水平
蚀刻机反应腔室排气通量达到<0.1μg/cm2
零件清洗后经万级车间热烘干然后直接进入千级洁净室进行包装,有效避免产品二次污染
针对UHV要求零件,配备百级洁净室清洗包装